Motori dizajnirani za vakuumske primjene prvenstveno se klasificiraju na temelju specifičnog vakuumskog okruženja, načina rada i zahtjeva opreme. Uobičajeni tipovi uključuju vakuumske istosmjerne motore, vakuumske motore bez četkica, vakuumske koračne motore i vakuumske servo motore. Za razliku od standardnih motora, ove jedinice moraju uzeti u obzir izazove kao što su oslabljena disipacija topline, ispuštanje plinova iz materijala i promjene u svojstvima izolacije unutar vakuuma; posljedično, zahtijevaju više standarde u konstrukcijskom dizajnu i izboru materijala. Svaki tip motora nudi različite karakteristike u pogledu brzine vrtnje, okretnog momenta, preciznosti upravljanja i radne stabilnosti, što zahtijeva proces odabira koji uzima u obzir specifične uvjete rada opreme.
Vakuumski istosmjerni motori imaju relativno jednostavnu strukturu i nude prikladnu regulaciju brzine, što ih čini prikladnima za vakuumsku opremu koja zahtijeva kontinuirani rad, ali ima skromne zahtjeve za upravljanjem. Vakuumski motori bez četkica eliminiraju tradicionalne četke i komutatore, što rezultira minimalnim mehaničkim trošenjem tijekom rada, što ih čini idealnim za okruženja sa strogim standardima čistoće. Vakuumski koračni motori prvenstveno se koriste u opremi koja zahtijeva preciznu kontrolu rotacijskih kutova i pomaka, kao što su vakuumski ventili i precizni prijenosni mehanizmi. Za primjene koje zahtijevaju visoku izvedbu u smislu brzine gibanja, pozicioniranja i točnosti odgovora, mogu se koristiti vakuumski servo motori; kada su integrirani s kontrolnim sustavom, omogućuju vrlo rafiniranu kontrolu pokreta.
Odabir motora za vakuumske primjene zahtijeva gledanje dalje od puke snage i brzine; također se moraju uzeti u obzir kritični parametri kao što su razina vakuuma, radna temperatura, uvjeti opterećenja i dopuštene stope ispuštanja plina. Ako oprema dulje vrijeme radi u okruženjima visokog vakuuma ili ultravisokog vakuuma, posebna se pozornost mora posvetiti materijalima motora, izolacijskim strukturama i metodama rasipanja topline kako bi se spriječili problemi u radu uzrokovani ispuštanjem plinova iz materijala ili neadekvatnim hlađenjem. Stoga, budući da se motori koji se koriste u različitim vakuumskim sustavima razlikuju, odgovarajući tip motora i strukturu treba odabrati na temelju specifičnih radnih uvjeta kako bi se osigurala optimalna ravnoteža radne učinkovitosti, stabilnosti i vijeka trajanja.
